顯微鏡物鏡分辨距離的計(jì)算公式：根據(jù)光學(xué)衍射理論，衍射光斑直徑d＝Kλ／NA，若光斑為愛里圓斑，則強(qiáng)度沿徑向降低為*大值的1／2時(shí)，對(duì)應(yīng)的K＝0.52，即d＝0.52λNA，焦深ΔZ＝λ ／2NA2。

可見，當(dāng)NA值增大時(shí)，光斑直徑d減小，有利于提高測(cè)量頭的橫向及垂直分辨率，但在物鏡直徑一定的情況下，此時(shí)鏡頭更為靠近被測(cè)工件表面，不利于測(cè)量頭的調(diào)整，且系統(tǒng)波象差會(huì)隨NA值的增大而加大，故需對(duì)NA值進(jìn)行優(yōu)化選擇。

顯微鏡的分辨力的大小由物鏡的分辨力來決定的，而物鏡的分辨力又是由它的數(shù)值孔徑和照明光線的波長(zhǎng)決定的。當(dāng)用普通的中央照明法（使光線均勻地透過標(biāo)本的明視照明法）時(shí)，顯微鏡的分辨距離為d=0.61λ/NA。